ULVAC 愛(ai)發(fa)科 DIS-252 渦(wo)旋(xuan)式(shi)幹(gan)真(zhen)空泵

ULVAC 愛(ai)發(fa)科 DIS-252 渦(wo)旋(xuan)式(shi)幹(gan)真(zhen)空泵

真(zhen)空泵是指利用(yong)機(ji)械(xie)、物理、化學(xue)或物理化學(xue)的方法(fa)對

被(bei)抽容(rong)器進行(xing)抽氣(qi)而(er)獲(huo)得真(zhen)空的器件或設備(bei)。通(tong)俗(su)來講(jiang)

，真(zhen)空泵是用各(ge)種方法(fa)在(zai)某壹(yi)封(feng)閉(bi)空間(jian)中(zhong)改善(shan)、產生和

維持真(zhen)空的裝(zhuang)置(zhi)。

按(an)真(zhen)空泵的工作原理(li)，真(zhen)空泵基本上可(ke)以分為兩(liang)種類型(xing)

，即(ji)氣(qi)體(ti)捕(bu)集泵和氣(qi)體(ti)傳輸泵(beng)。其廣泛(fan)用(yong)於冶金、化工

、食(shi)品、電子(zi)鍍膜(mo)等(deng)行業(ye)。

由(you)於真(zhen)空應用部門所涉及的工作壓力的範圍(wei)很寬，因此

任(ren)何壹(yi)種類型(xing)的真(zhen)空泵都(dou)不可(ke)能適用於所有的工作

壓力範圍(wei)，只能(neng)根(gen)據不同(tong)的工作壓力範圍(wei)和不同(tong)的工作

要(yao)求(qiu)，使用(yong)不同(tong)類型(xing)的真(zhen)空泵。為了使用(yong)方便(bian)和(he)各(ge)種真(zhen)

空工藝過程(cheng)的需要(yao)，有時將(jiang)各種真(zhen)空泵按其性(xing)能(neng)要(yao)求(qiu)組(zu)

合起來，以(yi)機(ji)組(zu)型式應用。

常(chang)用真(zhen)空泵包(bao)括(kuo)幹式螺(luo)桿(gan)真(zhen)空泵、水環泵、往(wang)復(fu)泵(beng)、滑(hua)

閥泵(beng)、旋片泵(beng)、羅(luo)茨(ci)泵(beng)和(he)擴散(san)泵(beng)等(deng)，這些泵是我(wo)國國(guo)民

經濟(ji)各(ge)行業(ye)應(ying)用(yong)真(zhen)空工藝過程(cheng)中(zhong)的主(zhu)力泵(beng)種。

近(jin)年來， 伴隨著(zhe)我(wo)國經濟(ji)持(chi)續(xu)高速(su)發(fa)展，真(zhen)空泵相(xiang)關

下(xia)遊應(ying)用行業(ye)保(bao)持(chi)快(kuai)速(su)增長(chang)勢頭，同(tong)時在(zai)真(zhen)空泵應用領

域(yu)不斷拓(tuo)展等(deng)因素的共同(tong)拉(la)動(dong)下(xia)，我(wo)國真(zhen)空泵行業(ye)實(shi)現(xian)

了持(chi)續(xu)穩定(ding)地(di)快(kuai)速(su)的發(fa)展。

（1）泵(beng)總體(ti)結(jie)構型式

真(zhen)空泵的泵體(ti)的布(bu)置(zhi)結(jie)構決(jue)定(ding)了泵(beng)的總體(ti)結(jie)構。

立式結(jie)構的進、排氣(qi)口(kou)水平(ping)設置(zhi)，裝(zhuang)配(pei)和連(lian)接(jie)管路(lu)都(dou)比

較方便(bian)。但(dan)泵(beng)的重心較高(gao)，在(zai)高(gao)速(su)運轉時穩定(ding)性(xing)差，故

這(zhe)種型式多用於小(xiao)泵(beng)。

臥(wo)式(shi)泵(beng)的進氣(qi)口(kou)在(zai)上(shang)，排氣(qi)口(kou)在(zai)下(xia)。有時為(wei)了真(zhen)空系統

管道(dao)安(an)裝(zhuang)連(lian)接(jie)方便(bian)，可(ke)將(jiang)排氣(qi)口(kou)從(cong)水平(ping)方向接出，即(ji)進

、排氣(qi)方向是相(xiang)互垂(chui)直的。此時，排氣(qi)口(kou)可(ke)以從(cong)左(zuo)或右

兩(liang)個(ge)方向開(kai)口(kou)，除接(jie)排氣(qi)管道(dao)壹(yi)端(duan)外(wai)，另壹(yi)端(duan)堵(du)死或接

旁通(tong)閥(fa)。這種泵結構重心低(di)，高速(su)運轉時穩定(ding)性(xing)好。壹(yi)

般(ban)大(da)、中(zhong)型泵(beng)多采用此(ci)種結構。

泵的兩(liang)個(ge)轉(zhuan)子(zi)軸(zhou)與(yu)水平(ping)面(mian)垂(chui)直安裝(zhuang)。這(zhe)種結構裝(zhuang)配(pei)間(jian)隙

容(rong)易控制(zhi)，轉子(zi)裝(zhuang)配(pei)方便(bian)，泵(beng)占(zhan)地(di)面(mian)積(ji)小(xiao)。但(dan)泵(beng)重心較

高(gao)且齒(chi)輪(lun)拆裝(zhuang)不便(bian)，潤滑(hua)機(ji)構也相(xiang)對復(fu)雜(za)。

（2）泵(beng)的傳動(dong)方式(shi)

真(zhen)空泵的兩(liang)個(ge)轉(zhuan)子(zi)是通(tong)過(guo)壹對高精(jing)度(du)齒(chi)輪(lun)來實(shi)現(xian)其相(xiang)對

同(tong)步運轉的。主(zhu)動(dong)軸(zhou)通(tong)過(guo)聯軸(zhou)器與電(dian)機(ji)聯接。在(zai)傳動(dong)結(jie)

構布(bu)置(zhi)上(shang)主(zhu)要(yao)有以下兩(liang)種：其壹是電動(dong)機(ji)與齒(chi)輪(lun)放在(zai)轉(zhuan)

子(zi)的同(tong)壹側如(ru)圖。

從(cong)動(dong)轉(zhuan)子(zi)由(you)電(dian)動(dong)機(ji)端(duan)齒(chi)輪(lun)直接(jie)傳過去帶(dai)動(dong)，這(zhe)樣(yang)主(zhu)動(dong)轉(zhuan)

子(zi)軸(zhou)的扭轉變形(xing)小(xiao)，則(ze)兩(liang)個(ge)轉(zhuan)子(zi)之間(jian)的間(jian)隙不會(hui)因主(zhu)動(dong)

軸(zhou)的扭轉變形(xing)大(da)而(er)改(gai)變，故使轉(zhuan)子(zi)之間(jian)的間(jian)隙在(zai)運轉過

程中(zhong)均勻(yun)。

這種傳動(dong)方式(shi)的最大缺點(dian)是：a.主(zhu)動(dong)軸(zhou)上(shang)有三個(ge)軸(zhou)承(cheng)，

增加(jia)了泵(beng)的加(jia)工和(he)裝(zhuang)配(pei)難度(du)，齒(chi)輪(lun)的拆裝(zhuang)及調(tiao)整也不便(bian)

；b.整(zheng)體(ti)結(jie)構不勻稱(cheng)，泵(beng)的重心偏向電動(dong)機(ji)和齒(chi)輪(lun)箱壹(yi)

側。

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(1)在(zai)較寬的壓力範圍(wei)內有較大(da)的抽速(su)；

(2)轉(zhuan)子(zi)具有良好的幾何對(dui)稱(cheng)性(xing)，故振(zhen)動(dong)小(xiao)，運轉平(ping)穩

。轉子(zi)間(jian)及轉(zhuan)子(zi)和殼(ke)體(ti)間(jian)均(jun)有間(jian)隙，不用潤滑(hua)，摩擦損(sun)

失(shi)小(xiao)，可(ke)大大降低(di)驅(qu)動(dong)功(gong)率(lv)，從(cong)而可(ke)實(shi)現(xian)較高(gao)轉(zhuan)速(su)；

(3)泵(beng)腔(qiang)內無(wu)需用(yong)油密封(feng)和潤滑(hua)，可(ke)減少油蒸(zheng)氣(qi)對(dui)真(zhen)空

系統的汙染；

(4)泵腔(qiang)內無(wu)壓(ya)縮(suo)，無(wu)排氣(qi)閥(fa)。結構簡單、緊湊(cou)，對(dui)被(bei)

抽氣(qi)體(ti)中(zhong)的灰(hui)塵(chen)和水蒸(zheng)汽不敏感；

(5)壓(ya)縮(suo)比(bi)較低(di)，對氫(qing)氣(qi)抽氣(qi)效果(guo)差；

(6)轉子(zi)表(biao)面(mian)為(wei)形(xing)狀(zhuang)較為(wei)復(fu)雜(za)的曲線(xian)柱面(mian)，加(jia)工和(he)檢(jian)查(zha)

比較困難。

⑴真(zhen)空泵工作時產(chan)生的振動(dong)對(dui)工藝過程(cheng)及環境(jing)有無(wu)影(ying)響

。若(ruo)工藝過程(cheng)不允許(xu)，應選擇無(wu)振(zhen)動(dong)的泵或者采取防(fang)振(zhen)

動(dong)措施(shi)。

⑵了解(jie)被(bei)抽氣(qi)體(ti)成(cheng)分，氣(qi)體(ti)中(zhong)含不含可(ke)凝(ning)蒸(zheng)氣(qi)，有無(wu)顆(ke)

粒灰(hui)塵(chen)，有無(wu)腐(fu)蝕性(xing)等(deng)。選擇真(zhen)空泵時，需要(yao)知道氣(qi)體(ti)

成(cheng)分，針(zhen)對被(bei)抽氣(qi)體(ti)選(xuan)擇相(xiang)應的泵。如果(guo)氣(qi)體(ti)中(zhong)含有蒸(zheng)

氣(qi)、顆(ke)粒、及腐(fu)蝕性(xing)氣(qi)體(ti)，應(ying)該(gai)考慮(lv)在(zai)泵(beng)的進氣(qi)口(kou)管路(lu)

上安(an)裝(zhuang)輔(fu)助設備(bei)，如(ru)冷凝(ning)器、除塵(chen)器等(deng)。

⑶真(zhen)空泵在(zai)其工作壓強(qiang)下(xia)，應(ying)能(neng)排走(zou)真(zhen)空設備(bei)工藝過程(cheng)

中(zhong)產生的全部(bu)氣(qi)體(ti)量(liang)。

⑷正(zheng)確地(di)組(zu)合真(zhen)空泵。由(you)於真(zhen)空泵有選擇性(xing)抽氣(qi)，因而

，有時選(xuan)用壹種泵不能滿(man)足抽氣(qi)要(yao)求(qiu)，需要(yao)幾種泵組(zu)合

起來，互(hu)相(xiang)補充(chong)才能滿(man)足抽氣(qi)要(yao)求(qiu)。

如(ru)鈦升(sheng)華(hua)泵(beng)對(dui)氫(qing)有很高的抽速(su)，但(dan)不能抽氦，而三(san)極(ji)型

濺(jian)射(she)離子(zi)泵，（或二極(ji)型(xing)非(fei)對稱陰極濺(jian)射(she)離子(zi)泵）對(dui)氬

有壹定(ding)的抽速(su)，兩(liang)者(zhe)組(zu)合起來，便(bian)會(hui)使真(zhen)空裝(zhuang)置(zhi)得(de)到(dao)較

好的真(zhen)空度(du)。

另外(wai)，有的真(zhen)空泵不能在(zai)大(da)氣(qi)壓(ya)下工作，需要(yao)預真(zhen)空；

有的真(zhen)空泵出口(kou)壓強(qiang)低(di)於大氣(qi)壓(ya)，需要(yao)前(qian)級泵，故都(dou)需

要(yao)把(ba)泵組(zu)合起來使用(yong)。

⑸真(zhen)空設備(bei)對(dui)油汙染的要(yao)求(qiu)。若(ruo)設(she)備(bei)嚴(yan)格(ge)要(yao)求(qiu)無(wu)油時，

應(ying)該(gai)選各(ge)種無(wu)油泵，如：水環泵、分子(zi)篩(shai)吸(xi)附泵(beng)、濺射(she)

離子(zi)泵、低(di)溫(wen)泵等(deng)。如果(guo)要(yao)求(qiu)不嚴格(ge)，可(ke)以選擇有油泵

，加(jia)上壹些防(fang)油汙染措施(shi)，如加(jia)冷阱(jing)、障(zhang)板、擋油阱(jing)等(deng)

，也能(neng)達(da)到(dao)清(qing)潔(jie)真(zhen)空要(yao)求(qiu)。

⑹正(zheng)確地(di)選(xuan)擇真(zhen)空泵的工作點。每種泵都(dou)有壹定(ding)的工作

壓強(qiang)範圍(wei)，如：2BV系(xi)列水(shui)環真(zhen)空泵工作壓強(qiang)範圍(wei)

760mmHg~25mmHg（絕(jue)壓），在(zai)這(zhe)樣(yang)寬壓強(qiang)範圍(wei)內，泵(beng)的

抽速(su)隨(sui)壓(ya)強(qiang)而(er)變(bian)化（詳(xiang)細變(bian)化情(qing)況(kuang)參照泵的性(xing)能(neng)曲線(xian)）

，其穩定(ding)的工作壓強(qiang)範圍(wei)為760~60mmHg。因而，泵(beng)的工

作點應(ying)該(gai)選在(zai)這(zhe)個(ge)範圍(wei)之內(nei)較為(wei)適(shi)宜(yi)，而(er)不能讓(rang)它在(zai)

25~30mmHg下(xia)長(chang)期工作。

⑺真(zhen)空泵排出(chu)來的油蒸(zheng)氣(qi)對(dui)環境(jing)的影響如(ru)何(he)。如(ru)果(guo)環境(jing)

不允許(xu)有汙染，可(ke)以選無(wu)油真(zhen)空泵，或者把(ba)油蒸(zheng)氣(qi)排到(dao)

室外(wai)。

⑻真(zhen)空泵的工作壓強(qiang)應(ying)該(gai)滿(man)足真(zhen)空設備(bei)的極限真(zhen)空及工

作壓強(qiang)要(yao)求(qiu)。如(ru)：某真(zhen)空幹燥工藝要(yao)求(qiu)10mmHg的工作真(zhen)

空度(du)，選用(yong)的真(zhen)空泵的極限真(zhen)空度(du)至少要(yao)2mmHg，最好

能(neng)達(da)到(dao)1mmHg。通(tong)常(chang)選擇泵的極限真(zhen)空度(du)要(yao)高於真(zhen)空設

備(bei)工作真(zhen)空度(du)半個(ge)到(dao)壹個(ge)數(shu)量級。

⑼真(zhen)空泵的價格(ge)、運轉及維修費(fei)用(yong)。