ULVAC 愛(ai)發科 DIS-90 渦(wo)旋式(shi)幹真空(kong)泵(beng)

ULVAC 愛(ai)發科 DIS-90 渦(wo)旋式(shi)幹真空(kong)泵(beng)是(shi)指(zhi)利(li)用(yong)機(ji)械(xie)、物理(li)、化(hua)學(xue)或(huo)物理(li)化(hua)學(xue)的方法對(dui)

被抽(chou)容器(qi)進行(xing)抽(chou)氣而(er)獲得(de)真空(kong)的(de)器件(jian)或(huo)設備(bei)。通(tong)俗來講(jiang)

，真空(kong)泵(beng)是(shi)用(yong)各(ge)種(zhong)方法在(zai)某壹(yi)封閉(bi)空(kong)間中改善(shan)、產生(sheng)和

維(wei)持(chi)真空(kong)的(de)裝置。

按(an)真空(kong)泵(beng)的(de)工作(zuo)原理(li)，真空(kong)泵(beng)基(ji)本上可以(yi)分(fen)為(wei)兩(liang)種(zhong)類(lei)型(xing)

，即(ji)氣體(ti)捕集(ji)泵(beng)和氣(qi)體(ti)傳輸(shu)泵(beng)。其廣(guang)泛用(yong)於(yu)冶(ye)金(jin)、化工

、食品(pin)、電(dian)子鍍(du)膜(mo)等(deng)行(xing)業。

由於(yu)真空(kong)應(ying)用(yong)部(bu)門所涉及(ji)的工作(zuo)壓力(li)的範(fan)圍(wei)很(hen)寬(kuan)，因此

任(ren)何(he)壹(yi)種(zhong)類型(xing)的(de)真空(kong)泵(beng)都(dou)不(bu)可能(neng)適用(yong)於(yu)所有的(de)工作(zuo)

壓力(li)範圍(wei)，只(zhi)能根(gen)據不同(tong)的(de)工作(zuo)壓力(li)範圍(wei)和不(bu)同(tong)的(de)工作(zuo)

要求(qiu)，使用(yong)不(bu)同(tong)類(lei)型(xing)的(de)真空(kong)泵(beng)。為(wei)了使(shi)用(yong)方便(bian)和各(ge)種(zhong)真

空(kong)工藝過(guo)程(cheng)的(de)需(xu)要(yao)，有時(shi)將各(ge)種(zhong)真空(kong)泵(beng)按(an)其性(xing)能(neng)要(yao)求組

合(he)起來，以(yi)機組型(xing)式(shi)應(ying)用(yong)。

常用(yong)真空(kong)泵(beng)包(bao)括(kuo)幹式(shi)螺(luo)桿(gan)真空(kong)泵(beng)、水(shui)環(huan)泵(beng)、往(wang)復泵(beng)、滑

閥泵(beng)、旋片(pian)泵(beng)、羅茨(ci)泵(beng)和擴散泵(beng)等(deng)，這(zhe)些(xie)泵(beng)是(shi)我國國(guo)民

經(jing)濟各(ge)行(xing)業應(ying)用(yong)真空(kong)工藝過(guo)程(cheng)中的主(zhu)力(li)泵(beng)種(zhong)。

近(jin)年來， 伴隨(sui)著我國經(jing)濟持續(xu)高(gao)速(su)發展，真空(kong)泵(beng)相(xiang)關(guan)

下遊(you)應(ying)用(yong)行(xing)業保(bao)持(chi)快速(su)增(zeng)長(chang)勢頭，同(tong)時(shi)在(zai)真空(kong)泵(beng)應(ying)用(yong)領

域不(bu)斷拓(tuo)展等(deng)因素的(de)共(gong)同(tong)拉(la)動(dong)下(xia)，我國真空(kong)泵(beng)行(xing)業實現(xian)

了(le)持續穩定(ding)地(di)快(kuai)速(su)的(de)發展。

（1）泵(beng)總(zong)體(ti)結(jie)構(gou)型(xing)式(shi)

真空(kong)泵(beng)的(de)泵(beng)體(ti)的(de)布(bu)置結構(gou)決(jue)定(ding)了(le)泵(beng)的(de)總(zong)體(ti)結(jie)構(gou)。

立式(shi)結(jie)構(gou)的(de)進、排(pai)氣(qi)口水(shui)平(ping)設置(zhi)，裝(zhuang)配(pei)和連(lian)接(jie)管路都(dou)比(bi)

較方便(bian)。但(dan)泵(beng)的(de)重(zhong)心較(jiao)高(gao)，在(zai)高(gao)速(su)運(yun)轉時(shi)穩定(ding)性(xing)差(cha)，故

這種(zhong)型(xing)式(shi)多(duo)用(yong)於(yu)小泵(beng)。

臥式(shi)泵(beng)的(de)進氣(qi)口(kou)在(zai)上(shang)，排(pai)氣(qi)口(kou)在(zai)下(xia)。有(you)時(shi)為(wei)了真空(kong)系(xi)統(tong)

管道安裝連接(jie)方便(bian)，可(ke)將(jiang)排(pai)氣口從(cong)水平(ping)方向接(jie)出，即(ji)進

、排(pai)氣(qi)方向是相互垂(chui)直的。此時(shi)，排氣(qi)口可以從左(zuo)或(huo)右

兩(liang)個(ge)方向開(kai)口(kou)，除(chu)接(jie)排氣(qi)管道壹(yi)端外，另壹(yi)端堵(du)死或(huo)接(jie)

旁通(tong)閥。這種泵(beng)結(jie)構(gou)重心低(di)，高(gao)速(su)運(yun)轉時(shi)穩定(ding)性(xing)好(hao)。壹(yi)

般大、中型(xing)泵(beng)多(duo)采用(yong)此(ci)種結構。

泵(beng)的(de)兩(liang)個(ge)轉子軸與水(shui)平(ping)面(mian)垂(chui)直安裝。這種結(jie)構裝(zhuang)配間隙

容(rong)易控(kong)制(zhi)，轉(zhuan)子裝配方便(bian)，泵(beng)占(zhan)地(di)面(mian)積小。但(dan)泵(beng)重(zhong)心較(jiao)

高(gao)且(qie)齒(chi)輪拆(chai)裝不(bu)便(bian)，潤(run)滑機(ji)構(gou)也(ye)相(xiang)對(dui)復雜。

（2）泵(beng)的(de)傳動(dong)方式(shi)

真空(kong)泵(beng)的(de)兩(liang)個(ge)轉子是通(tong)過(guo)壹(yi)對(dui)高(gao)精(jing)度(du)齒輪來實現(xian)其相(xiang)對(dui)

同(tong)步(bu)運(yun)轉(zhuan)的(de)。主(zhu)動軸通過(guo)聯(lian)軸器與電(dian)機聯(lian)接(jie)。在(zai)傳動(dong)結(jie)

構布(bu)置上主(zhu)要有(you)以(yi)下兩(liang)種(zhong)：其壹(yi)是(shi)電(dian)動機(ji)與齒(chi)輪放(fang)在(zai)轉(zhuan)

子(zi)的(de)同(tong)壹(yi)側(ce)如圖(tu)。

從(cong)動(dong)轉(zhuan)子(zi)由電(dian)動機(ji)端齒輪直接(jie)傳過(guo)去帶動(dong)，這樣(yang)主(zhu)動轉(zhuan)

子(zi)軸的扭轉變(bian)形(xing)小，則兩(liang)個(ge)轉子之(zhi)間的間隙不(bu)會因主(zhu)動

軸的扭轉變(bian)形(xing)大而(er)改變(bian)，故使轉(zhuan)子之(zhi)間的間隙在(zai)運(yun)轉(zhuan)過(guo)

程(cheng)中均(jun)勻。

ULVAC 愛發科 DIS-90 渦(wo)旋式(shi)幹真空(kong)泵(beng)這(zhe)種(zhong)傳動(dong)方式(shi)的(de)最(zui)大缺點是(shi)：a.主(zhu)動軸上有三(san)個(ge)軸承，

增(zeng)加(jia)了(le)泵(beng)的(de)加(jia)工和裝(zhuang)配(pei)難度(du)，齒輪的拆(chai)裝及(ji)調(tiao)整(zheng)也(ye)不(bu)便(bian)

；b.整(zheng)體(ti)結(jie)構(gou)不(bu)勻稱，泵(beng)的(de)重(zhong)心偏(pian)向電(dian)動機(ji)和齒(chi)輪箱壹(yi)

側(ce)。

(1)在(zai)較(jiao)寬(kuan)的壓(ya)力(li)範圍(wei)內(nei)有較(jiao)大的(de)抽(chou)速；

(2)轉(zhuan)子(zi)具(ju)有良好的(de)幾(ji)何(he)對(dui)稱性(xing)，故振動(dong)小，運轉(zhuan)平(ping)穩(wen)

。轉(zhuan)子(zi)間及轉(zhuan)子和殼(ke)體(ti)間均(jun)有(you)間隙，不(bu)用(yong)潤(run)滑，摩(mo)擦(ca)損

失小，可大大降低(di)驅(qu)動(dong)功(gong)率，從(cong)而(er)可實現(xian)較(jiao)高(gao)轉(zhuan)速(su)；

(3)泵(beng)腔(qiang)內(nei)無需(xu)用(yong)油(you)密(mi)封和潤(run)滑，可(ke)減(jian)少油(you)蒸(zheng)氣對(dui)真空(kong)

系(xi)統(tong)的汙(wu)染(ran)；

(4)泵(beng)腔(qiang)內(nei)無壓(ya)縮，無排氣閥。結構簡單(dan)、緊(jin)湊，對(dui)被

抽(chou)氣體(ti)中的灰(hui)塵和水(shui)蒸(zheng)汽不(bu)敏(min)感；

(5)壓(ya)縮(suo)比(bi)較低(di)，對(dui)氫氣抽(chou)氣效(xiao)果差(cha)；

(6)轉(zhuan)子(zi)表面(mian)為(wei)形(xing)狀較(jiao)為(wei)復雜的(de)曲(qu)線柱(zhu)面(mian)，加工和檢(jian)查(zha)

比(bi)較困難。

⑴真空(kong)泵(beng)工作(zuo)時(shi)產生(sheng)的振動對(dui)工藝過(guo)程(cheng)及(ji)環(huan)境有無影響

。若(ruo)工藝過(guo)程(cheng)不(bu)允許(xu)，應(ying)選(xuan)擇(ze)無(wu)振(zhen)動(dong)的(de)泵(beng)或(huo)者(zhe)采取(qu)防(fang)振

動(dong)措施(shi)。

⑵了解被抽(chou)氣體(ti)成分(fen)，氣體(ti)中含(han)不含(han)可凝(ning)蒸(zheng)氣，有(you)無(wu)顆

粒灰(hui)塵，有(you)無腐(fu)蝕性(xing)等(deng)。選(xuan)擇(ze)真空(kong)泵(beng)時(shi)，需要(yao)知(zhi)道(dao)氣(qi)體(ti)

成分(fen)，針(zhen)對(dui)被抽(chou)氣體(ti)選(xuan)擇(ze)相(xiang)應(ying)的(de)泵(beng)。如(ru)果氣(qi)體(ti)中含(han)有蒸(zheng)

氣、顆粒、及(ji)腐(fu)蝕性(xing)氣(qi)體(ti)，應(ying)該(gai)考慮(lv)在(zai)泵(beng)的(de)進氣(qi)口(kou)管路

上(shang)安裝輔助(zhu)設備(bei)，如(ru)冷凝(ning)器、除(chu)塵器等(deng)。

⑶真空(kong)泵(beng)在(zai)其工作(zuo)壓強(qiang)下，應(ying)能(neng)排(pai)走(zou)真空(kong)設備(bei)工藝過(guo)程(cheng)

中產生(sheng)的全(quan)部氣(qi)體(ti)量(liang)。

⑷正確地(di)組(zu)合(he)真空(kong)泵(beng)。由於(yu)真空(kong)泵(beng)有(you)選(xuan)擇(ze)性(xing)抽(chou)氣，因而(er)

，有時(shi)選(xuan)用(yong)壹(yi)種(zhong)泵(beng)不(bu)能(neng)滿足(zu)抽(chou)氣要(yao)求(qiu)，需(xu)要幾(ji)種(zhong)泵(beng)組(zu)合(he)

起來，互(hu)相補充才(cai)能滿(man)足(zu)抽(chou)氣要(yao)求(qiu)。

如(ru)鈦升(sheng)華泵(beng)對(dui)氫有很(hen)高(gao)的(de)抽(chou)速，但(dan)不能(neng)抽(chou)氦，而(er)三極(ji)型(xing)

濺(jian)射離子(zi)泵(beng)，（或(huo)二極(ji)型(xing)非(fei)對(dui)稱陰(yin)極(ji)濺(jian)射離子(zi)泵(beng)）對(dui)氬

有(you)壹(yi)定(ding)的抽(chou)速，兩(liang)者(zhe)組(zu)合(he)起來，便(bian)會(hui)使(shi)真空(kong)裝(zhuang)置得到較(jiao)

好(hao)的真空(kong)度(du)。

另外，有的真空(kong)泵(beng)不(bu)能(neng)在(zai)大氣(qi)壓(ya)下工作(zuo)，需要(yao)預真空(kong)；

有(you)的真空(kong)泵(beng)出(chu)口(kou)壓強(qiang)低(di)於(yu)大氣(qi)壓(ya)，需要(yao)前級泵(beng)，故都需(xu)

要把(ba)泵(beng)組(zu)合(he)起來使(shi)用(yong)。

⑸真空(kong)設備(bei)對(dui)油(you)汙染(ran)的(de)要求。若(ruo)設備(bei)嚴格要求無(wu)油(you)時(shi)，

應(ying)該(gai)選(xuan)各(ge)種(zhong)無(wu)油(you)泵(beng)，如(ru)：水(shui)環泵(beng)、分(fen)子(zi)篩吸(xi)附泵(beng)、濺(jian)射

離子(zi)泵(beng)、低(di)溫泵(beng)等(deng)。如(ru)果要(yao)求(qiu)不(bu)嚴格，可以選(xuan)擇(ze)有(you)油(you)泵(beng)

，加(jia)上(shang)壹(yi)些(xie)防油(you)汙染(ran)措(cuo)施(shi)，如加(jia)冷阱(jing)、障(zhang)板、擋油(you)阱(jing)等(deng)

，也(ye)能(neng)達(da)到清(qing)潔(jie)真空(kong)要(yao)求。

⑹正確地(di)選(xuan)擇(ze)真空(kong)泵(beng)的(de)工作(zuo)點。每(mei)種泵(beng)都(dou)有(you)壹(yi)定(ding)的工作(zuo)

壓強(qiang)範圍(wei)，如(ru)：2BV系(xi)列水環(huan)真空(kong)泵(beng)工作(zuo)壓強(qiang)範圍(wei)

760mmHg~25mmHg（絕壓(ya)），在(zai)這(zhe)樣(yang)寬(kuan)壓強(qiang)範圍內(nei)，泵(beng)的(de)

抽(chou)速隨(sui)壓(ya)強(qiang)而(er)變(bian)化（詳細(xi)變(bian)化情(qing)況(kuang)參照(zhao)泵(beng)的(de)性(xing)能(neng)曲(qu)線）

，其穩(wen)定的(de)工作(zuo)壓強(qiang)範圍(wei)為(wei)760~60mmHg。因而(er)，泵(beng)的(de)工

作(zuo)點應(ying)該(gai)選(xuan)在(zai)這(zhe)個(ge)範圍之(zhi)內(nei)較為(wei)適宜(yi)，而(er)不能(neng)讓它在(zai)

25~30mmHg下(xia)長(chang)期工作(zuo)。

⑺真空(kong)泵(beng)排(pai)出(chu)來的(de)油(you)蒸(zheng)氣對(dui)環境的影響如(ru)何(he)。如果環(huan)境

不允許(xu)有(you)汙(wu)染(ran)，可(ke)以選(xuan)無(wu)油(you)真空(kong)泵(beng)，或(huo)者(zhe)把(ba)油(you)蒸(zheng)氣排(pai)到(dao)

室(shi)外。

⑻真空(kong)泵(beng)的(de)工作(zuo)壓強(qiang)應(ying)該(gai)滿足(zu)真空(kong)設備(bei)的(de)極(ji)限真空(kong)及(ji)工

作(zuo)壓強(qiang)要求(qiu)。如(ru)：某真空(kong)幹燥(zao)工藝要(yao)求10mmHg的工作(zuo)真

空(kong)度(du)，選(xuan)用(yong)的(de)真空(kong)泵(beng)的(de)極(ji)限真空(kong)度(du)至(zhi)少要2mmHg，最(zui)好(hao)

能(neng)達(da)到1mmHg。通(tong)常選(xuan)擇(ze)泵(beng)的(de)極(ji)限真空(kong)度(du)要高(gao)於(yu)真空(kong)設

備(bei)工作(zuo)真空(kong)度(du)半(ban)個(ge)到壹(yi)個(ge)數(shu)量(liang)級。

⑼真空(kong)泵(beng)的(de)價(jia)格、運轉及(ji)維(wei)修(xiu)費(fei)用(yong)。