ULVAC 愛(ai)發科(ke) DIS-501 渦(wo)旋(xuan)式(shi)幹真空(kong)泵(beng)

ULVAC 愛(ai)發科(ke) DIS-501 渦(wo)旋(xuan)式(shi)幹真空(kong)泵(beng)圖(tu)片：

常(chang)用(yong)真空(kong)泵(beng)包(bao)括(kuo)幹式(shi)螺桿真空(kong)泵(beng)、水環(huan)泵(beng)、往(wang)復泵(beng)、滑閥(fa)泵(beng)、旋(xuan)片(pian)泵(beng)、羅(luo)茨(ci)泵(beng)和擴散泵(beng)等，這些(xie)泵(beng)是(shi)我(wo)國國民經濟各行(xing)業應用(yong)真空(kong)工(gong)藝過程中的(de)主(zhu)力泵(beng)種(zhong)。

近年來(lai)， 伴隨(sui)著(zhe)我(wo)國經濟持(chi)續(xu)高速(su)發展，真空(kong)泵(beng)相(xiang)關(guan)下(xia)遊(you)應用(yong)行(xing)業保持(chi)快(kuai)速增長(chang)勢(shi)頭，同時(shi)在(zai)真空(kong)泵(beng)應用(yong)領域(yu)不斷(duan)拓展等因素(su)的(de)共(gong)同拉(la)動下(xia)，我(wo)國真空(kong)泵(beng)行(xing)業實現(xian)了持(chi)續(xu)穩(wen)定地(di)快(kuai)速(su)的(de)發展。

ULVAC 愛(ai)發科(ke) DIS-501 渦(wo)旋(xuan)式(shi)幹真空(kong)泵(beng)介紹(shao)：

（1）泵(beng)總體結構(gou)型(xing)式

真空(kong)泵(beng)的(de)泵(beng)體的(de)布(bu)置(zhi)結構(gou)決定了泵(beng)的(de)總體結構(gou)。

立式結構(gou)的(de)進(jin)、排氣口(kou)水(shui)平設(she)置，裝配和連(lian)接(jie)管路(lu)都(dou)比較方(fang)便(bian)。但泵(beng)的(de)重心較高(gao)，在(zai)高速運轉時(shi)穩(wen)定性差(cha)，故這(zhe)種(zhong)型(xing)式多(duo)用(yong)於(yu)小(xiao)泵(beng)。

臥(wo)式泵(beng)的(de)進(jin)氣口(kou)在(zai)上(shang)，排氣口(kou)在(zai)下。有(you)時(shi)為(wei)了真空(kong)系(xi)統管道(dao)安裝連(lian)接(jie)方(fang)便(bian)，可將排氣口(kou)從(cong)水平方(fang)向接(jie)出，即(ji)進(jin)、排氣方(fang)向是(shi)相(xiang)互垂直的(de)。此時(shi)，排氣口(kou)可(ke)以從(cong)左或(huo)右(you)兩(liang)個(ge)方(fang)向開(kai)口，除接(jie)排氣管(guan)道(dao)壹(yi)端(duan)外(wai)，另(ling)壹(yi)端(duan)堵死(si)或(huo)接(jie)旁(pang)通(tong)閥(fa)。這種(zhong)泵(beng)結構(gou)重心低，高(gao)速運轉時(shi)穩(wen)定性好(hao)。壹(yi)般(ban)大、中(zhong)型(xing)泵(beng)多采(cai)用(yong)此種(zhong)結構(gou)。

泵(beng)的(de)兩(liang)個(ge)轉(zhuan)子(zi)軸(zhou)與水(shui)平面(mian)垂(chui)直安裝。這種(zhong)結構(gou)裝配間隙(xi)容(rong)易(yi)控制，轉(zhuan)子(zi)裝配方(fang)便(bian)，泵(beng)占地(di)面(mian)積(ji)小(xiao)。但泵(beng)重心較高(gao)且(qie)齒輪拆裝不便(bian)，潤滑機(ji)構(gou)也(ye)相(xiang)對(dui)復(fu)雜。

（2）泵(beng)的(de)傳動方(fang)式(shi)

真空(kong)泵(beng)的(de)兩(liang)個(ge)轉(zhuan)子(zi)是(shi)通過壹(yi)對(dui)高(gao)精(jing)度齒(chi)輪來(lai)實現其相(xiang)對(dui)同(tong)步運轉的(de)。主(zhu)動(dong)軸(zhou)通(tong)過(guo)聯(lian)軸(zhou)器(qi)與電機(ji)聯(lian)接(jie)。在(zai)傳動結構(gou)布(bu)置(zhi)上(shang)主(zhu)要有(you)以(yi)下(xia)兩(liang)種(zhong)：其壹(yi)是(shi)電動機(ji)與齒(chi)輪放(fang)在(zai)轉子的(de)同(tong)壹(yi)側如圖(tu)。

從(cong)動轉子(zi)由電動機(ji)端(duan)齒(chi)輪(lun)直接(jie)傳過去(qu)帶動(dong)，這(zhe)樣主動轉子軸(zhou)的(de)扭(niu)轉(zhuan)變形(xing)小(xiao)，則(ze)兩個(ge)轉子(zi)之間(jian)的(de)間(jian)隙(xi)不會因主(zhu)動軸(zhou)的(de)扭(niu)轉(zhuan)變形(xing)大而改變，故(gu)使(shi)轉子(zi)之間的(de)間(jian)隙(xi)在(zai)運轉過(guo)程中均勻。

這(zhe)種(zhong)傳動方(fang)式(shi)的(de)最(zui)大缺(que)點(dian)是(shi)：a.主動軸(zhou)上(shang)有(you)三(san)個(ge)軸(zhou)承(cheng)，增加(jia)了泵(beng)的(de)加(jia)工(gong)和(he)裝配難(nan)度，齒輪的(de)拆(chai)裝及調(tiao)整(zheng)也(ye)不便(bian)；b.整(zheng)體結構(gou)不勻(yun)稱，泵(beng)的(de)重心偏向電動機(ji)和(he)齒(chi)輪(lun)箱壹(yi)側。

(1)在(zai)較寬(kuan)的(de)壓力範圍內有(you)較大的(de)抽(chou)速(su)；

(2)轉(zhuan)子(zi)具(ju)有(you)良(liang)好的(de)幾(ji)何(he)對(dui)稱(cheng)性，故振(zhen)動(dong)小(xiao)，運轉平(ping)穩(wen)。轉子(zi)間及轉子(zi)和殼體間均有(you)間(jian)隙(xi)，不用(yong)潤滑，摩擦損失(shi)小(xiao)，可大大降(jiang)低(di)驅動(dong)功(gong)率(lv)，從(cong)而可(ke)實(shi)現較高(gao)轉速；

(3)泵(beng)腔(qiang)內無需用(yong)油(you)密(mi)封和(he)潤滑，可減(jian)少(shao)油(you)蒸(zheng)氣(qi)對(dui)真空(kong)系(xi)統的(de)汙(wu)染；

(4)泵(beng)腔(qiang)內無壓縮，無(wu)排氣閥(fa)。結構(gou)簡(jian)單(dan)、緊湊(cou)，對(dui)被(bei)抽(chou)氣(qi)體中的(de)灰(hui)塵(chen)和(he)水(shui)蒸(zheng)汽不敏(min)感；

(5)壓縮比較低(di)，對(dui)氫(qing)氣抽(chou)氣(qi)效(xiao)果(guo)差(cha)；

(6)轉子(zi)表(biao)面(mian)為(wei)形狀(zhuang)較為(wei)復雜(za)的(de)曲(qu)線柱(zhu)面(mian)，加(jia)工(gong)和(he)檢(jian)查(zha)比較困(kun)難(nan)。

⑴真空(kong)泵(beng)工(gong)作時(shi)產(chan)生的(de)振(zhen)動(dong)對(dui)工(gong)藝過程及環(huan)境(jing)有(you)無(wu)影響(xiang)。若(ruo)工(gong)藝過程不允許(xu)，應選(xuan)擇(ze)無振(zhen)動(dong)的(de)泵(beng)或(huo)者(zhe)采(cai)取防(fang)振(zhen)動(dong)措施。

⑵了解被(bei)抽(chou)氣(qi)體成(cheng)分(fen)，氣體中含不含可凝蒸(zheng)氣，有(you)無(wu)顆(ke)粒(li)灰(hui)塵(chen)，有(you)無(wu)腐(fu)蝕(shi)性(xing)等。選(xuan)擇(ze)真空(kong)泵(beng)時(shi)，需(xu)要知道(dao)氣(qi)體成(cheng)分(fen)，針對(dui)被(bei)抽(chou)氣(qi)體選(xuan)擇(ze)相(xiang)應的(de)泵(beng)。如果氣(qi)體中含有(you)蒸(zheng)氣(qi)、顆(ke)粒(li)、及腐(fu)蝕(shi)性(xing)氣體，應該考(kao)慮(lv)在(zai)泵(beng)的(de)進(jin)氣口(kou)管路上(shang)安裝輔(fu)助(zhu)設(she)備，如冷(leng)凝器(qi)、除塵(chen)器(qi)等。

⑶真空(kong)泵(beng)在(zai)其工(gong)作壓強(qiang)下，應(ying)能(neng)排走(zou)真空(kong)設(she)備工(gong)藝過程中產(chan)生的(de)全(quan)部(bu)氣體量。

⑷正確地(di)組合(he)真空(kong)泵(beng)。由於(yu)真空(kong)泵(beng)有(you)選(xuan)擇(ze)性抽(chou)氣(qi)，因(yin)而，有(you)時(shi)選(xuan)用(yong)壹(yi)種(zhong)泵(beng)不能(neng)滿(man)足(zu)抽(chou)氣(qi)要求(qiu)，需要幾(ji)種(zhong)泵(beng)組合(he)起(qi)來(lai)，互相(xiang)補充才能(neng)滿(man)足(zu)抽(chou)氣(qi)要求(qiu)。

如鈦升(sheng)華(hua)泵(beng)對(dui)氫(qing)有(you)很(hen)高(gao)的(de)抽(chou)速(su)，但(dan)不能(neng)抽(chou)氦，而三(san)極型(xing)濺射離(li)子(zi)泵(beng)，（或(huo)二極型(xing)非對(dui)稱(cheng)陰(yin)極濺射離(li)子(zi)泵(beng)）對(dui)氬(ya)有(you)壹(yi)定的(de)抽(chou)速(su)，兩(liang)者(zhe)組合(he)起(qi)來(lai)，便(bian)會使真空(kong)裝置得到較好(hao)的(de)真空(kong)度(du)。